京仪装备温控机Chiller传感替代｜PT100温度+压力+液位传感器

嘉准传感器

京仪装备温控机Chiller传感替代｜PT100温度+压力+液位传感器



导读： 京仪装备Chiller是国内唯一实现大规模装机的半导体专用温控设备，为刻蚀、沉积、离子注入等工艺机台提供精准恒温冷/热源。冷媒高低温交替、7×24小时连续运行对传感器温漂、寿命提出极高要求。嘉准提供温度采集模块、压力传感器、液位传感器、流量传感器的国产化配套方案。
一、适用场景

京仪装备Chiller包含V变频系列、C常规系列、H高温系列、超低温系列，用于半导体工艺机台温控。
二、嘉准替代方案

1. 冷媒回路压力监测、高压保护、泄漏报警 → 压力传感器

• 原常用进口件：进口压力变送器
• 嘉准替代型号：FGP37系列压力开关
• 应用说明：宽温域补偿，冷媒管路压力实时监测，超压、低压快速报警保护压缩机。不锈钢防腐膜片，适配冷媒介质。
  

2. 膨胀罐、水箱液位监测 → 液位传感器

• 原常用进口件：进口液位开关
• 嘉准替代型号：FKCN系列电容式液位传感器
• 应用说明：工业级液位传感器，耐长期不间断工作，减少备件更换频次。非接触式检测，不接触冷媒液体。
  

3. 冷却水/冷媒流量监测、断流保护 → 流量传感器

• 原常用进口件：进口流量计
• 嘉准替代型号：配套流量监测方案
• 应用说明：实时监测冷却水/冷媒流量，断流保护。
  

4. 压缩机振动监测、预判故障 → 振动传感器

• 原常用进口件：进口振动传感器
• 嘉准替代型号：配套振动监测方案
• 应用说明：压缩机振动监测，预判故障，实现预测性维护。
  

总结

京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。

关于嘉准

• 品牌名称：F&C嘉准传感器
  

公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地核心业务：专注于色标传感器、光纤传感器、接近传感器、光电传感器、激光位移、激光测距、IO-Link接近、压力开关、超声波、激光雷达、接触式位移、安全门锁、安全光幕以及导轨电源等自动化检测元件的研发、生产与销售企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业

SamiBlota

同款经历！我当初也这么过来的😂

kyo659541779

        学到干货了，感谢分享，已火速收藏

Williamspave

        楼主辛苦啦，期待下一篇分享

ALEXShozy

        画面感太强了，仿佛身临其境！

品牌资讯

不请自来，只为说一句：太精彩了！

19922876369

        蹲一波同款，有没有姐妹 / 兄弟推荐？

HealthFan19

        救命！这回复笑到我捶桌，必须置顶～