京仪装备废气处理传感替代｜防腐液位+压力传感器耐氟腐蚀
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导读： 京仪装备Local Scrubber处理刻蚀、薄膜工艺产生的有毒、腐蚀性含氟废气。含氟尾气、洗涤药液强腐蚀性对传感器探头提出极高耐腐蚀要求。嘉准提供防腐型液位传感器、管路压力传感器的国产化替代方案，适配洗涤塔潮湿腐蚀环境。
一、适用场景
京仪装备Local Scrubber采用等离子分解+湿法洗涤组合工艺，适配半导体强腐蚀、易燃易爆工艺尾气场景。
二、嘉准替代方案
1. 洗涤水箱液位控制 → 防腐型液位传感器
[*]原常用进口件：进口液位传感器
[*]嘉准替代型号：FKC1810PTFE系列电容式液位传感器（耐腐蚀款）
[*]应用说明：耐酸碱、耐氟化物侵蚀；稳定输出的液位监测传感器，实时反馈水箱液位，联动自动加药系统，保障尾气稳定达标排放。
2. 腔体负压、管路压力监测 → 防腐压力传感器
[*]原常用进口件：进口压力传感器
[*]嘉准替代型号：FGP37系列压力开关（防腐膜片款）
[*]应用说明：管路压力传感器选用防腐膜片，适配洗涤塔潮湿腐蚀环境。实时监测腔体负压、管路压力。
3. 药剂、洗涤水流量控制 → 流量传感器
[*]原常用进口件：进口流量计
[*]嘉准替代型号：配套流量监测方案
[*]应用说明：药剂、洗涤水流量控制。
总结
京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。
关于嘉准
[*]品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地核心业务：专注于色标传感器、光纤传感器、接近传感器、光电传感器、激光位移、激光测距、IO-Link接近、压力开关、超声波、激光雷达、接触式位移、安全门锁、安全光幕以及导轨电源等自动化检测元件的研发、生产与销售
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